寧波材料所提出多孔氧化鋁基相位透射光柵制備新方法

近日，中國(guó)科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所在衍射光學(xué)元件的低成本方面取得進(jìn)展，相關(guān)論文被《光學(xué)快報(bào)》（Optics Letters） 接受，并提前在網(wǎng)上發(fā)表。該雜志由美國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)主辦，以快速報(bào)道光學(xué)領(lǐng)域的研究成就而著稱(chēng)。

    博士后王彪與合作導(dǎo)師崔平、宋偉杰研究員通過(guò)集成有序納米孔材料合成和納米材料表面微納加工兩種先進(jìn)技術(shù)，提出了一種在有序的多孔陽(yáng)極氧化鋁基片上獲得所需圖案的低成本方法。他們?cè)谡５墓饪碳庸げ襟E完成后，利用化學(xué)刻蝕方法代替通常采用的干法刻蝕工藝，從而快速地將所需的微觀圖案轉(zhuǎn)移到多孔陽(yáng)極氧化鋁片上。實(shí)驗(yàn)表明，通過(guò)上述方法可以在多孔氧化鋁片上刻制出高精度的圖形結(jié)構(gòu)，并且加工獲取的圖形結(jié)構(gòu)深度很容易超過(guò)10μm以上。該方法將衍射光學(xué)元件如透射光柵的加工由傳統(tǒng)的致密光學(xué)材料擴(kuò)展到有序納米孔材料上，有望適用于高性能衍射光學(xué)元件。例如，當(dāng)多孔氧化鋁上刻制的圖形是光柵條紋時(shí)，所獲得的單色激光衍射結(jié)果與理論計(jì)算值吻合得很好。